• Antrieb Piezolinearmotor (Keramik)
• Hübe= 10 mm bis 100mm
• Lieferbar auch mit Keramiklinearführungen
• Max. Verfahrgeschw. 20mm/s
• UHV geeignet
• Auflösung Messsystem Standart 10µm
• kleinere Auflösungen sind möglich
• unmagnetisch
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Info Piezolineartisch RTP |